铈掺杂钛酸锶钡薄膜的结构及介电性能
来源期刊：稀有金属材料与工程2009年增刊第2期
论文作者：傅向军 魏雄邦 王洪全 张佳 廖家轩 潘笑风
关键词：铈掺杂; 钛酸锶钡薄膜; 钙钛矿结构; 介电性能; cerium doping; barium strontium titanate film; perovskited structure; dielectric properties;
摘 要：用改善的溶胶凝胶法制备铈掺杂钛酸锶钡(Ba_0.6Sr_0.4TiO_3, BST)薄膜,研究其结构与介电性能.X射线光电子能谱表明,铈掺杂显著地减少了薄膜表面非钙钛矿结构.但是,由于掺杂薄膜较薄且掺杂量小,X射线衍射结果未见明显变化.原子力显微镜结果表明,掺杂BST薄膜表面光滑致密.掺杂BST薄膜的介电性能大幅度提高,在40 V外加电压下介电调谐率达60.8%,零偏压下的介电损耗为0.0265.同时,就有关结构及介电性能改善的机制进行了讨论.
傅向军1，魏雄邦1，王洪全1，张佳1，廖家轩1，潘笑风1
(1.电子科技大学,四川,成都,610054)
摘要:用改善的溶胶凝胶法制备铈掺杂钛酸锶钡(Ba_0.6Sr_0.4TiO_3, BST)薄膜,研究其结构与介电性能.X射线光电子能谱表明,铈掺杂显著地减少了薄膜表面非钙钛矿结构.但是,由于掺杂薄膜较薄且掺杂量小,X射线衍射结果未见明显变化.原子力显微镜结果表明,掺杂BST薄膜表面光滑致密.掺杂BST薄膜的介电性能大幅度提高,在40 V外加电压下介电调谐率达60.8%,零偏压下的介电损耗为0.0265.同时,就有关结构及介电性能改善的机制进行了讨论.
关键词:铈掺杂; 钛酸锶钡薄膜; 钙钛矿结构; 介电性能; cerium doping; barium strontium titanate film; perovskited structure; dielectric properties;
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