电沉积法制备ZrO2薄膜的工艺研究
来源期刊：材料开发与应用2004年第3期
论文作者：李晓林 张欢 范莹莹 郭忠诚 曹建春 周晓龙
关键词：电沉积; 氧化锆; 薄膜;
摘 要：研究了水溶液中电沉积ZrO2薄膜的工艺,系统分析了镀液成分、pH值、电流密度及沉积时间对电沉积ZrO2薄膜的影响规律,并分析了薄膜的厚度、成分和形貌等.研究结果表明,在硝酸锆水溶液中加入一定量的络合剂和添加剂,可以得到与基体结合好、分布均匀的ZrO2薄膜.
李晓林1，张欢1，范莹莹1，郭忠诚1，曹建春1，周晓龙1
(1.昆明理工大学,云南,昆明,650093)
摘要:研究了水溶液中电沉积ZrO2薄膜的工艺,系统分析了镀液成分、pH值、电流密度及沉积时间对电沉积ZrO2薄膜的影响规律,并分析了薄膜的厚度、成分和形貌等.研究结果表明,在硝酸锆水溶液中加入一定量的络合剂和添加剂,可以得到与基体结合好、分布均匀的ZrO2薄膜.
关键词:电沉积; 氧化锆; 薄膜;
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