用电泳沉积-电沉积联合法制备二氧化锆(YS Z)薄膜
来源期刊：材料研究学报2001年第5期
论文作者：谢慧琴 卢立柱 赁泓巍
关键词：电泳; 电沉积; 钇稳定二氧化锆; 薄膜;
摘 要：先用电泳法在掺锶锰酸镧(La0 8Sr0 2MnO3-LSM)基片沉积一层钇稳定二氧化锆(yttria-stabilized zirconia-YSZ)薄膜,在烧结后的电泳薄膜上进行若干次电沉积和烧结,以封堵薄膜中孔隙进行.上述联合法综合了电泳沉积薄膜附着力强,烧结时不龟裂的优点和电沉积薄膜的颗粒细,易烧结性的优点,较好地解决了电化学沉积膜难以烧结致密的问题.制备出的薄膜致密性高,厚度为8～14μm。
谢慧琴1，卢立柱2，赁泓巍1
(1.中国科学院化工冶金研究所;
2.中国科学院化工冶金研究所,北京市,100080)
摘要:先用电泳法在掺锶锰酸镧(La0 8Sr0 2MnO3-LSM)基片沉积一层钇稳定二氧化锆(yttria-stabilized zirconia-YSZ)薄膜,在烧结后的电泳薄膜上进行若干次电沉积和烧结,以封堵薄膜中孔隙进行.上述联合法综合了电泳沉积薄膜附着力强,烧结时不龟裂的优点和电沉积薄膜的颗粒细,易烧结性的优点,较好地解决了电化学沉积膜难以烧结致密的问题.制备出的薄膜致密性高,厚度为8～14μm。
关键词:电泳; 电沉积; 钇稳定二氧化锆; 薄膜;
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