多孔硅传感器的研究进展
来源期刊：材料导报2004年第3期
论文作者：赵楚军 谢自芳 崔昊杨 彭景翠 李宏建
关键词：多孔硅; 传感器; 光学微腔; 电导率; 介电常数;
摘 要：综述了几种常见的多孔硅传感器的制备方法与敏感特性,并着重对气敏、湿敏、生物敏多孔硅传感器的传感机理做了详细的介绍,论述了多孔硅传感器研究的新动向,展望了它的未来发展.
赵楚军1，谢自芳1，崔昊杨1，彭景翠1，李宏建1
(1.湖南大学光电子材料研究所,长沙,410082)
摘要:综述了几种常见的多孔硅传感器的制备方法与敏感特性,并着重对气敏、湿敏、生物敏多孔硅传感器的传感机理做了详细的介绍,论述了多孔硅传感器研究的新动向,展望了它的未来发展.
关键词:多孔硅; 传感器; 光学微腔; 电导率; 介电常数;
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