多孔硅在传感器中的应用研究进展
来源期刊：材料导报2015年第13期
论文作者：孙兰兰 肖巍 刘煌 张艳华 涂铭旌
文章页码：62 - 137
关键词：多孔硅;传感器;内表面积;
摘 要：多孔硅由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性以及与传统硅集成技术兼容等特点,成为传感器件中理想的敏感材料。简述了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展,包括多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感器商业化的影响因素,并展望了多孔硅传感器的发展方向。
孙兰兰1,2，肖巍2，刘煌1,2，张艳华2，涂铭旌1,2,3
1. 重庆理工大学材料科学与工程学院2. 重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室3. 四川大学材料科学与工程学院
摘 要：多孔硅由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性以及与传统硅集成技术兼容等特点,成为传感器件中理想的敏感材料。简述了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展,包括多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感器商业化的影响因素,并展望了多孔硅传感器的发展方向。
关键词：多孔硅;传感器;内表面积;
