化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展

田会娟^1,2，郝斌^1,2，徐俊波³，田亚峻⁴，温浩⁵

1. 唐山学院环境与化学工程系2. 唐山市微纳米材料制备及应用重点实验室3. 中国科学院过程工程研究所中国科学院绿色过程与工程重点实验室4. 低碳清洁能源研究所5. 中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室

摘 要：纳/微氧化锌材料性能优良,用途广泛,制备方法较多,其中化学气相沉积法(CVD)是较常用的方法之一。详细介绍了CVD方法制备纳米氧化锌的主要影响因素,概述了计算流体动力学(CFD)模拟在化学气相沉积法方面的应用和研究现状,并指出应该采用实验研究和计算模拟相结合的方法进行研究,利用计算模拟指导实验,从而实现纳微结构的可控生长。

关键词：纳微结构氧化锌;化学气相沉积;局部气氛;数值模拟;