磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究
来源期刊：材料工程2008年第11期
论文作者：白力静 蒋百灵 龙艳妮 严少平 苏阳
关键词：磁控溅射; Cr/C镀层; 热处理; 耐热性能;
摘 要：在空气炉加热环境下于不同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备Cr/C镀层样品进行加热保温处理.研究了不同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化,考察了Cr/C镀层的耐热性能.结果表明:在600℃以下,Cr/C镀层保持了高硬度和强结合力的性能,表明镀层具有良好的耐热性能;镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合物,起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果,使镀层氧化失稳的温度大大提高,从而保证了良好的耐热性能;处理温度达800℃后,镀层硬度和结合力明显下降.
白力静1，蒋百灵1，龙艳妮1，严少平1，苏阳1
(1.西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048;
2.安徽理工大学,理学院,安徽,淮南,232001)
摘要:在空气炉加热环境下于不同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备Cr/C镀层样品进行加热保温处理.研究了不同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化,考察了Cr/C镀层的耐热性能.结果表明:在600℃以下,Cr/C镀层保持了高硬度和强结合力的性能,表明镀层具有良好的耐热性能;镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合物,起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果,使镀层氧化失稳的温度大大提高,从而保证了良好的耐热性能;处理温度达800℃后,镀层硬度和结合力明显下降.
关键词:磁控溅射; Cr/C镀层; 热处理; 耐热性能;
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