磁控溅射离子镀金装饰膜的研究

孔晶¹，陈正件¹，袁菊懋¹，刘凌雯¹，余明远¹，廖雅¹，张嘉恒²

1. 珠海中科先进技术研究院有限公司2. 哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院

摘 要：采用磁控溅射离子镀技术在316不锈钢表面制备TiN层和Au层,TiN层的厚度分别为0.620μm、0.997μm和1.389μm,反应沉积时间分别为60min、100min和140min,Au层的厚度均为0.13μm左右。测试了镀金层的镀层表面形貌、色泽、耐腐蚀性能和耐磨性能。结果表明,镀膜的反应沉积时间不同时,镀层表面均较致密,中间层TiN层的厚度对颜色没有明显的影响,镀层的耐腐蚀性和耐摩擦性能良好。

关键词：磁控溅射;装饰膜;表面形貌;色度值;耐腐蚀性能;耐摩擦性能;