烧结NdFeB永磁体磁控溅射镀Al的制备工艺及性能研究

李红英^1,2,3，郝壮志¹

1. 中南大学材料科学与工程学院2. 中南大学有色金属材料科学与工程教育部重点实验室3. 中南大学有色金属先进结构材料与制造协同创新中心

摘 要：采用直流磁控溅射方法在NdFeB磁体表面沉积纯Al镀层,研究溅射功率、基体温度对Al镀层结构和耐腐蚀性能的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)观察Al镀层的表面形貌,采用垂直拉伸法测量Al镀层与NdFeB基体之间的结合强度,采用动电位极化曲线和中性盐雾试验(NSS)研究Al镀层的耐腐蚀性能。结果表明,溅射功率越低,基体温度越高,Al镀层性能越好。采用溅射功率2.0kW、基体温度300℃制备的Al镀层表面平整、光滑,晶粒细小、致密,Al镀层与基体的结合强度可达到25.13 MPa;其耐腐蚀性能最佳,经过6d中性盐雾试验后仍完好,表面仅发生轻微点蚀。

关键词：烧结NdFeB永磁体;Al镀层;磁控溅射;结合强度;耐腐蚀性;