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Zn1-xMgxO薄膜及其p型掺杂的研究进展

来源期刊:材料导报2011年第17期

论文作者:黄桂娟 孔春阳 秦国平

文章页码:28 - 73

关键词:Zn1-xMgxO薄膜;宽禁带半导体材料;p型掺杂;

摘    要:Zn1-xMgxO薄膜作为一种新型的宽带隙半导体材料,近年来一直受到广泛的关注。获得高质量稳定的p型Zn1-xMgxO薄膜是实现其光电应用的关键。概述了Zn1-xMgxO薄膜及其p型掺杂的研究现状,介绍了Zn1-xMgxO薄膜结构、光电性质及在光电领域的应用,并提出了有待进一步研究的问题。

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Zn1-xMgxO薄膜及其p型掺杂的研究进展

黄桂娟,孔春阳,秦国平

重庆师范大学物理与电子工程学院

摘 要:Zn1-xMgxO薄膜作为一种新型的宽带隙半导体材料,近年来一直受到广泛的关注。获得高质量稳定的p型Zn1-xMgxO薄膜是实现其光电应用的关键。概述了Zn1-xMgxO薄膜及其p型掺杂的研究现状,介绍了Zn1-xMgxO薄膜结构、光电性质及在光电领域的应用,并提出了有待进一步研究的问题。

关键词:Zn1-xMgxO薄膜;宽禁带半导体材料;p型掺杂;

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