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ZnO薄膜p型掺杂的研究进展

来源期刊：材料导报2007年增刊第1期

论文作者：宋雪梅李彤李驰平张铭严辉王波

关键词：ZnO薄膜; p型掺杂; 共掺杂方法;

摘要：ZnO薄膜作为一种多功能半导体材料,近年来一直受到广泛关注.然而,如何制备高质量的p型ZnO薄膜是实现其实用化的关键.概括了p型掺杂困难的原因,并指出Ⅲ-Ⅴ族元素共掺杂可能是p型掺杂的最好方法.简单回顾了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对今后的发展趋势进行了展望.

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宋雪梅¹，李彤¹，李驰平¹，张铭¹，严辉¹，王波¹

(1.北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022)

摘要:ZnO薄膜作为一种多功能半导体材料,近年来一直受到广泛关注.然而,如何制备高质量的p型ZnO薄膜是实现其实用化的关键.概括了p型掺杂困难的原因,并指出Ⅲ-Ⅴ族元素共掺杂可能是p型掺杂的最好方法.简单回顾了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对今后的发展趋势进行了展望.

关键词:ZnO薄膜; p型掺杂; 共掺杂方法;

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