铝诱导过程中硅铝厚度比优化的研究
来源期刊：功能材料2012年第23期
论文作者：唐正霞 沈鸿烈 江丰
文章页码：3312 - 3315
关键词：薄膜;多晶硅;铝诱导晶化;厚度比;
摘 要：以康宁Eagle 2000玻璃为衬底,用磁控溅射法制备了不同硅铝厚度比的非晶硅/二氧化硅/铝叠层,在氩气保护下于450℃退火一定时间,制备出铝诱导多晶硅薄膜。用Raman光谱和紫外反射光谱讨论了硅铝厚度比对薄膜结晶性能的影响。结果表明,硅铝厚度比对多晶硅薄膜的结晶性能有显著影响,最佳硅铝厚度比为5∶1。
唐正霞1,2，沈鸿烈2，江丰2
1. 金陵科技学院材料工程学院2. 南京航空航天大学材料科学与技术学院
摘 要：以康宁Eagle 2000玻璃为衬底,用磁控溅射法制备了不同硅铝厚度比的非晶硅/二氧化硅/铝叠层,在氩气保护下于450℃退火一定时间,制备出铝诱导多晶硅薄膜。用Raman光谱和紫外反射光谱讨论了硅铝厚度比对薄膜结晶性能的影响。结果表明,硅铝厚度比对多晶硅薄膜的结晶性能有显著影响,最佳硅铝厚度比为5∶1。
关键词：薄膜;多晶硅;铝诱导晶化;厚度比;
