金属诱导法制备多晶硅薄膜的研究进展
来源期刊：轻金属2006年第11期
论文作者：蔡捷宏 姚若河 陈明鑫 许佳雄 陈岳政
文章页码：48 - 50
关键词：多晶硅薄膜;金属诱导;低温晶化;
摘 要：多晶硅薄膜材料已广泛应用于太阳能电池和集成电路制造等领域。本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研究,讨论了金属诱导法的晶化机理,分析了金属诱导晶化过程中的主要影响因素,对不同的金属诱导法进行比较,展望了金属诱导法的进一步发展。
蔡捷宏，姚若河，陈明鑫，许佳雄，陈岳政
摘 要：多晶硅薄膜材料已广泛应用于太阳能电池和集成电路制造等领域。本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研究,讨论了金属诱导法的晶化机理,分析了金属诱导晶化过程中的主要影响因素,对不同的金属诱导法进行比较,展望了金属诱导法的进一步发展。
关键词：多晶硅薄膜;金属诱导;低温晶化;
