掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究

来源期刊：功能材料2016年第1期

论文作者：陈真英 聂鹏 廖庆佳 黄文华 孟炎 熊定康 邓文

文章页码：1077 - 1081

关键词：掺钛氧化锌薄膜;磁控溅射;保温时间;微结构;光电性能;

摘    要：采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO（掺钛氧化锌）薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO薄膜所需靶材的最佳条件。测试结果表明,所有样品均为具有c轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1 500℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区（400⁷60nm）有较高的平均透过率91.16%,较低电阻率1.07×10-4Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率。