基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性
来源期刊：无机材料学报2007年第6期
论文作者：熊予莹 张蜡宝 肖化 余红华 初本莉
关键词：氧化锌; 欧珀; 磁控溅射; 光子晶体;
摘 要：采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜,通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌.用SEM分析了模板和氧化锌的形貌.实验结果表明:模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球,氧化锌呈六角排列的纳米碗结构.XRD分析结果表明,实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜.样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明,欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4～5倍.这可能是由于样品的微结构造成的,其机理值得进一步研究.
熊予莹1，张蜡宝1，肖化1，余红华1，初本莉1
(1.华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006)
摘要:采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜,通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌.用SEM分析了模板和氧化锌的形貌.实验结果表明:模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球,氧化锌呈六角排列的纳米碗结构.XRD分析结果表明,实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜.样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明,欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4～5倍.这可能是由于样品的微结构造成的,其机理值得进一步研究.
关键词:氧化锌; 欧珀; 磁控溅射; 光子晶体;
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