基于塞贝克效应的半导体气敏传感器的研制
来源期刊：功能材料与器件学报2005年第3期
论文作者：黄世震 林伟 余华梁
关键词：塞贝克效应; 气敏传感器; 研制;
摘 要：利用塞贝克效应研制成功ZnO半导体气敏传感器.这种新型传感器能够输出0-100mV的直流电压,对于信号的放大与处理将十分方便.在实验中对20×10-6NO2气体进行检测,结果表明:传感器的输出电压(温差电动势),随着待测气体浓度而变化.因此,利用温差电效应制作气敏传感器是一条完全可行的新思路.
黄世震1，林伟1，余华梁1
(1.福州大学电子系气敏传感器研究所,福州,350002)
摘要:利用塞贝克效应研制成功ZnO半导体气敏传感器.这种新型传感器能够输出0-100mV的直流电压,对于信号的放大与处理将十分方便.在实验中对20×10-6NO2气体进行检测,结果表明:传感器的输出电压(温差电动势),随着待测气体浓度而变化.因此,利用温差电效应制作气敏传感器是一条完全可行的新思路.
关键词:塞贝克效应; 气敏传感器; 研制;
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