WO₃气敏传感材料及器件的研究进展

来源期刊：功能材料2020年第12期

论文作者：曾吉阳 荣茜 邓细宇 邝鑫雅 字包叶 马艺文 柳清菊

文章页码：12065 - 12071

关键词：气敏传感器;三氧化钨;纳米结构;气敏性能;

摘    要：随着人类的发展与社会的进步,人们对身边的环境问题越来越重视,尤其是对有毒有害气体的检测,而金属氧化物气敏传感器就可以解决这一问题。金属氧化物半导体气体传感器由于小巧、成本低廉、使用便捷、响应迅速等特点而被广泛的研究与应用。三氧化钨（WO₃）作为一种典型的n型半导体气敏材料,因其独特的气敏性能在检测各种有毒有害气体方面引起了广泛关注。传感材料的结构与形貌、暴露晶面、氧化物和贵金属的引入对改善材料的气敏性能起着关键性的作用。总结了近几年对一维,二维和三维WO₃材料的合成、界面的调控和对其改性方法、气敏性能的研究及相关机理的分析,提出了目前基于WO₃的气敏传感器研究过程中存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。