新型Ti₂O₃基湿敏传感器的研制

来源期刊：材料科学与工程学报2019年第2期

论文作者：张文倩 张敏 王曼 卡马勒·托克达尔汗

文章页码：300 - 303

关键词：Ti₂O₃;湿敏传感器;半导体;

摘    要：本研究探索了Ti₂O₃的湿敏性能,通过水热法合成Ti₂O₃晶体材料,并对其物相结构和形貌进行表征。随后将Ti₂O₃涂覆于碳叉指电极上制作出Ti₂O₃基湿敏传感器,该传感器灵敏度高,湿滞小,响应时间较快。当环境湿度从11%RH（相对湿度）增至95%RH时,该传感器的电阻值下降了两个数量级。Ti₂O₃基湿敏传感器的最大湿滞值小于2%RH,响应时间小于5。通过复阻抗谱讨论了传感器的敏感机理。研究结果显示出Ti₂O₃在制作湿敏传感器方面的潜在应用价值。