简介概要

合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展

来源期刊：材料导报2005年第12期

论文作者：鲁世强晏建武田莉周继承

关键词：合金薄膜; 压力传感器; 进展;

摘要：综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况.合金敏感薄膜电阻在应变压?技力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求.

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鲁世强¹，晏建武²，田莉²，周继承²

(1.南昌航空工业学院材料科学与工程系,南昌,330034;
2.中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083)

摘要:综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况.合金敏感薄膜电阻在应变压?技力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求.

关键词:合金薄膜; 压力传感器; 进展;

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