磁控溅射用难熔金属靶材制作、应用与发展
来源期刊：金属功能材料2016年第6期
论文作者：贾国斌 冯寅楠 贾英
文章页码：48 - 52
关键词：磁控溅射;高纯难熔金属;靶材;
摘 要：随着磁控溅射技术应用日益广泛,难熔金属靶材需求不断增大。就难熔金属靶材应用、制备及发展进行总结和探讨,分析了制作过程中致密度、纯度、晶粒尺寸及结晶取向对靶材性能的影响,并对难熔金属靶材的发展趋势进行展望。
贾国斌1，冯寅楠1，贾英2
1. 北京有色金属研究总院2. 邢台轧辊机电工程有限公司
摘 要：随着磁控溅射技术应用日益广泛,难熔金属靶材需求不断增大。就难熔金属靶材应用、制备及发展进行总结和探讨,分析了制作过程中致密度、纯度、晶粒尺寸及结晶取向对靶材性能的影响,并对难熔金属靶材的发展趋势进行展望。
关键词：磁控溅射;高纯难熔金属;靶材;
