简介概要

磁控溅射钛靶材的发展概述

来源期刊：金属功能材料2017年第5期

论文作者：董亭义万小勇何金江吕保国

文章页码：57 - 62

关键词：磁控溅射;钛靶;现状;发展趋势;

摘要：详细介绍了磁控溅射Ti靶材的种类、应用及制备情况,指出了目前Ti靶材亟待解决的几个重大问题,并对靶材的发展趋势进行了探讨和展望。

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董亭义^1,2,3，万小勇^2,3，何金江³，吕保国^1,2

2. 有研亿金新材料有限公司3. 北京市高纯金属溅射靶材工程技术研究中心

摘要：详细介绍了磁控溅射Ti靶材的种类、应用及制备情况,指出了目前Ti靶材亟待解决的几个重大问题,并对靶材的发展趋势进行了探讨和展望。

关键词：磁控溅射;钛靶;现状;发展趋势;