简介概要

磁控溅射金基合金靶材的制备、应用及发展趋势

来源期刊：材料导报2014年第5期

论文作者：张勤张俊凯厉英

文章页码：16 - 19

关键词：金基合金;磁控溅射;靶材;技术要求;

摘要：磁控溅射金基合金镀膜材料以其特有的性能和特点,应用范围越来越广。作为源材料,金基合金靶材的质量对溅射工艺及镀膜性能起着至关重要的作用。主要介绍常用金基合金的种类;金基合金溅射靶材的制备方法及应用现状;高端金基合金溅射靶材制备的技术要求、存在的问题及未来的发展思路。

详情信息展示

张勤，张俊凯，厉英

东北大学材料与冶金学院

关键词：金基合金;磁控溅射;靶材;技术要求;