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磁控溅射用纯铬靶材烧结的热力学分析及实践

来源期刊：云南冶金1995年第6期

论文作者：计汉容

关键词：磁控溅射;纯铬靶材;真空烧结;

摘要：通过对磁控溅射用纯铬靶材真空烧结过程的热力学分析，确立了烧结过程的必要条件，并应用于烧结实践，成功地达到氧含量＜０．０７％的ＶＰ级靶材要求。

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磁控溅射用纯铬靶材烧结的热力学分析及实践

计汉容

昆明冶金研究院

摘要：通过对磁控溅射用纯铬靶材真空烧结过程的热力学分析，确立了烧结过程的必要条件，并应用于烧结实践，成功地达到氧含量＜０．０７％的ＶＰ级靶材要求。

关键词：磁控溅射;纯铬靶材;真空烧结;

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