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影响金属薄膜沉积初期因素的有限单元法模拟

来源期刊：材料科学与工艺2007年第2期

论文作者：张德丰宋鹏周洁陆建生杨滨

关键词：金属薄膜; 沉积因素; 有限单元法; 计算机模拟;

摘要：利用有限单元法对影响金属薄膜沉积初期的因素进行了计算机模拟.按膜料为Pt、Pt-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等五种模式,采用刚性球入射到C或Si基底,重点研究了沉积原子的半径差异比、沉积原子能量和原子入射角等参数对薄膜沉积的影响,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性.

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张德丰¹，宋鹏¹，周洁¹，陆建生¹，杨滨²

(1.昆明理工大学,材料与冶金工程学院,云南,昆明,650093;
2.昆明贵金属研究所,云南,昆明,650221)

摘要:利用有限单元法对影响金属薄膜沉积初期的因素进行了计算机模拟.按膜料为Pt、Pt-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等五种模式,采用刚性球入射到C或Si基底,重点研究了沉积原子的半径差异比、沉积原子能量和原子入射角等参数对薄膜沉积的影响,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性.

关键词:金属薄膜; 沉积因素; 有限单元法; 计算机模拟;

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