简介概要

薄膜沉积机理的计算机模拟应用和发展

来源期刊：材料导报2003年增刊第1期

论文作者：赵明娟瑚琦宋鹏陆建生杨滨

关键词：薄膜; 沉积机理; 计算机模拟;

摘要：薄膜技术作为材料制备的一种新技术,在现代科技领域中有着广泛应用.人们对薄膜的沉积机理通过理论和实验进行了比较深入的研究,其中计算机模拟变得日趋重要.主要阐述目前薄膜沉积机理的计算机模型:LG模型、Eden模型、DLA模型及RLA模型,相应计算机模拟技术的发展以及面临的问题和发展方向.

详情信息展示

赵明娟¹，瑚琦¹，宋鹏¹，陆建生¹，杨滨²

(1.昆明理工大学材料与冶金工程学院,昆明,650093;
2.昆明贵金属研究所,昆明,650221)

摘要:薄膜技术作为材料制备的一种新技术,在现代科技领域中有着广泛应用.人们对薄膜的沉积机理通过理论和实验进行了比较深入的研究,其中计算机模拟变得日趋重要.主要阐述目前薄膜沉积机理的计算机模型:LG模型、Eden模型、DLA模型及RLA模型,相应计算机模拟技术的发展以及面临的问题和发展方向.

关键词:薄膜; 沉积机理; 计算机模拟;

【全文内容正在添加中】