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流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备

来源期刊：无机材料学报2006年第1期

论文作者：沃银花姚奎鸿王勇祝洪良王耐艳

关键词：氮化硅(SiN); 硅烷; 流态床; 化学气相沉积(CVD);

摘要：采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.

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沃银花¹，姚奎鸿²，王勇²，祝洪良²，王耐艳²

(1.浙江大学,杭州,310027;
2.浙江理工大学,杭州,310018)

摘要:采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.

关键词:氮化硅(SiN); 硅烷; 流态床; 化学气相沉积(CVD);

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