PcBN刀具TiN涂层制备及性能研究
来源期刊：超硬材料工程2018年第4期
论文作者：孔帅斐 栗正新 樊志琴
文章页码：6 - 10
关键词：PcBN刀具;磁控溅射;TiN涂层;氮气;氩气;
摘 要：通过JCP-350M2高真空多靶磁控溅射镀膜机,采用直流磁控溅射的方法,在PcBN刀具表面沉积TiN涂层。通过SEM、XRD等方法分析N2流量、Ar流量、温度、电流等参数变化对TiN涂层表面形貌、物相组成、涂层厚度和显微硬度的影响,找出制备TiN涂层的优化参数。
孔帅斐，栗正新，樊志琴
河南工业大学材料科学与工程学院
摘 要：通过JCP-350M2高真空多靶磁控溅射镀膜机,采用直流磁控溅射的方法,在PcBN刀具表面沉积TiN涂层。通过SEM、XRD等方法分析N2流量、Ar流量、温度、电流等参数变化对TiN涂层表面形貌、物相组成、涂层厚度和显微硬度的影响,找出制备TiN涂层的优化参数。
关键词：PcBN刀具;磁控溅射;TiN涂层;氮气;氩气;
