磁控溅射高温固体自润滑涂层的研究与进展

来源期刊：材料导报2017年第3期

论文作者：陈亚军 郁佳琪 赵婕宇 王付胜

文章页码：32 - 93

关键词：高温固体自润滑;磁控溅射;涂层结构;

摘    要：近年来,高温固体自润滑涂层在许多领域得到了快速发展,尤其是磁控溅射技术制备的微纳米高温固体自润滑涂层可以满足航空领域应用中对涂层厚度、力学性能、摩擦性能的更高要求。在综合国内外大量文献的基础上,对磁控溅射方法制备的高温固体自润滑涂层的材料体系、工艺参数优化和涂层结构设计取得的进展进行了综述,通过分析涂层组成相影响机理、工艺改进措施和涂层复杂界面结构,提出未来高温固体自润滑涂层有待进一步研究的问题。