沉积温度对化学气相沉积铼涂层性能的影响

来源期刊：稀有金属材料与工程2017年第5期

论文作者：赵封林 胡昌义 郑旭 祁小红 蔡宏中 魏燕

文章页码：1399 - 1403

关键词：铼;化学气相沉积;沉积速率;表面形貌;密度;

摘    要：利用五氯化铼热分解反应,采用冷壁式现场氯化化学气相法在钼基体沉积铼涂层,分析不同沉积温度对铼涂层的物相组成、沉积规律、表面形貌、密度和硬度的影响。实验结果表明:沉积所得均为纯铼涂层,晶粒生长方向均以(002)晶面为主;随着沉积温度的上升,铼涂层的沉积速率和沉积效率大幅提升,表面形貌由复杂多面体态变为六棱锥状;涂层组织致密,相对密度最高可达99.9%,维氏硬度随沉积温度升高而升高,最高达6100 MPa。