超硬超厚类金刚石薄膜合成研究
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：黄楠 杨文茂 陈俊英 冷永祥 孙鸿 张文英
关键词：DLC; 类金刚石薄膜; FCVA; 超硬超厚;
摘 要：采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
黄楠1，杨文茂1，陈俊英1，冷永祥1，孙鸿1，张文英1
(1.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031)
摘要:采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
关键词:DLC; 类金刚石薄膜; FCVA; 超硬超厚;
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