直流负偏压对金刚石形核的影响
来源期刊：International Journal of Minerals Metallurgy and Materials1996年第1期
论文作者：王建军 吕反修 刘应锴 于文秀 佟玉梅
关键词：金刚石膜;形核;直流偏压;
摘 要：本文研究了微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜中，直流负偏压的大小、施加的时间和施加偏压期间的甲烷浓度对光滑Ｓｉ衬底上金刚石形核的影响．发现适当的衬底负偏压可以极大地促进金刚石的形核，而过高或过低的偏压则都不利于形核。
王建军，吕反修，刘应锴，于文秀，佟玉梅
摘 要：本文研究了微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜中，直流负偏压的大小、施加的时间和施加偏压期间的甲烷浓度对光滑Ｓｉ衬底上金刚石形核的影响．发现适当的衬底负偏压可以极大地促进金刚石的形核，而过高或过低的偏压则都不利于形核。
关键词：金刚石膜;形核;直流偏压;
