简介概要

偏压对金刚石薄膜选择性成核和生长影响的研究

来源期刊：功能材料2000年第5期

论文作者：夏义本张文广王林军居建华

关键词：金刚石薄膜; 偏压形核; 选择性生长;

摘要：利用偏压增强MPCVD法成功地实现了金刚石薄膜在附有SiO2掩膜图形的镜面抛光的Si(100)上的选择性织构生长,列举了最佳偏压成核与选择性生长条件,SEM和Raman光谱对所得样品进行了表征,并对偏压对选择性成核和生长的影响机制进行了探讨.

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夏义本¹，张文广¹，王林军¹，居建华¹

(1.上海大学材料科学与工程学院无机材料系,上海,201800)

摘要:利用偏压增强MPCVD法成功地实现了金刚石薄膜在附有SiO2掩膜图形的镜面抛光的Si(100)上的选择性织构生长,列举了最佳偏压成核与选择性生长条件,SEM和Raman光谱对所得样品进行了表征,并对偏压对选择性成核和生长的影响机制进行了探讨.

关键词:金刚石薄膜; 偏压形核; 选择性生长;

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