形核密度对CVD金刚石涂层附着性能的影响
来源期刊：超硬材料工程2012年第2期
论文作者：邓福铭 吴学林 赵晓凯
文章页码：1 - 4
关键词：化学气相沉积(CVD);金刚石涂层;硬质合金;形核密度;
摘 要：采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上进行金刚石的形核生长,使用扫描电镜(SEM)对金刚石涂层形核情况进行分析,研究了不同形核密度对CVD金刚石涂层附着力的影响。结果表明:当碳源浓度达到3%时,表面形核密度最高,约为107/cm2;浓度增大为4%时,形核密度降低。通过压痕实验对比分析得出形核工艺中碳源浓度为3%时沉积的金刚石涂层压痕最浅,压痕直径最小,金刚石涂层具有良好的附着性能。
邓福铭，吴学林，赵晓凯
中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所
摘 要：采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金基体上进行金刚石的形核生长,使用扫描电镜(SEM)对金刚石涂层形核情况进行分析,研究了不同形核密度对CVD金刚石涂层附着力的影响。结果表明:当碳源浓度达到3%时,表面形核密度最高,约为107/cm2;浓度增大为4%时,形核密度降低。通过压痕实验对比分析得出形核工艺中碳源浓度为3%时沉积的金刚石涂层压痕最浅,压痕直径最小,金刚石涂层具有良好的附着性能。
关键词：化学气相沉积(CVD);金刚石涂层;硬质合金;形核密度;
