衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展
来源期刊：材料导报2000年第4期
论文作者：王万录 廖克俊 王必本 肖金龙
关键词：衬底负偏压; 成核机制; 金刚石膜;
摘 要：综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题.
王万录1，廖克俊1，王必本1，肖金龙1
(1.重庆大学理学院应用物理系,重庆,400044)
摘要:综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题.
关键词:衬底负偏压; 成核机制; 金刚石膜;
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