新型PST铁电薄膜的制备及其电性能研究
来源期刊：材料导报2003年增刊第1期
论文作者：曾亦可 邓传益 姜胜林 李元昕 刘梅冬
关键词：PST薄膜; 制备工艺; 铁电性; 热释电性; 介电性;
摘 要：PST铁电薄膜是一种具有优良铁电、热释电和介电等性能的铁电材料.该材料在红外探测器、红外焦平面阵列、热成像器件、非易失性铁电存储器和大容量电容器等方面具有广泛的应用.PST铁电薄膜的制备方法多种多样,各具优缺点,不同的制备工艺对薄膜的性能有影响.叙述了PST铁电薄膜的制备技术、电性能和在热释电红外探测器方面的应用.
曾亦可1，邓传益1，姜胜林1，李元昕1，刘梅冬1
(1.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074)
摘要:PST铁电薄膜是一种具有优良铁电、热释电和介电等性能的铁电材料.该材料在红外探测器、红外焦平面阵列、热成像器件、非易失性铁电存储器和大容量电容器等方面具有广泛的应用.PST铁电薄膜的制备方法多种多样,各具优缺点,不同的制备工艺对薄膜的性能有影响.叙述了PST铁电薄膜的制备技术、电性能和在热释电红外探测器方面的应用.
关键词:PST薄膜; 制备工艺; 铁电性; 热释电性; 介电性;
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