铁电薄膜的制备及应用技术研究
来源期刊:材料导报2000年第12期
论文作者:李楚容 王培英 饶韫华 曾亦可 邓传益 刘梅冬
关键词:铁电薄膜; sol-gel技术; 红外传感器; 火情探测器; 温度测试仪;
摘 要:研究出具有特色的制备铁电薄膜的sol-gel技术;制备出高质量、高可靠的PLT、PZT、PYZT、BST、PbTiO3、BaTiO3和bi4Ti3O12多晶铁电薄膜,PLT、PZT和BaTiO3异质外延生长铁电薄膜;研制出铁电薄膜热释电单元红外传感器,8元、9元、10元线列和8×8元阵列;研制出热释电火情探测器和热释电非接触式温度测试仪。
李楚容1,王培英1,饶韫华1,曾亦可1,邓传益1,刘梅冬1
(1.华中科技大学电子科学与技术系,武汉 430074)
摘要:研究出具有特色的制备铁电薄膜的sol-gel技术;制备出高质量、高可靠的PLT、PZT、PYZT、BST、PbTiO3、BaTiO3和bi4Ti3O12多晶铁电薄膜,PLT、PZT和BaTiO3异质外延生长铁电薄膜;研制出铁电薄膜热释电单元红外传感器,8元、9元、10元线列和8×8元阵列;研制出热释电火情探测器和热释电非接触式温度测试仪。
关键词:铁电薄膜; sol-gel技术; 红外传感器; 火情探测器; 温度测试仪;
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