铁电薄膜及铁电存储器的研究进展
来源期刊：材料导报2009年第9期
论文作者：周益春 唐明华
关键词：铁电薄膜; 掺杂改性; 失效机制; 铁电薄膜存储器;
摘 要：铁电薄膜是具有铁电性且厚度尺寸为数纳米到数微米的薄膜材料,因其在非挥发性铁电随机存储器方面的潜在应用而受到广泛关注.综述了新型无铅、无疲劳Bi4Ti3O12(BIT)基铁电薄膜材料的制备和改性及性能表征方法,阐述了铁电薄膜的3种失效机制及铁电薄膜存储器的研究现状,最后提出了铁电薄膜及存储器今后可能的研究方向.
周益春1，唐明华1
(1.湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭,411105)
摘要:铁电薄膜是具有铁电性且厚度尺寸为数纳米到数微米的薄膜材料,因其在非挥发性铁电随机存储器方面的潜在应用而受到广泛关注.综述了新型无铅、无疲劳Bi4Ti3O12(BIT)基铁电薄膜材料的制备和改性及性能表征方法,阐述了铁电薄膜的3种失效机制及铁电薄膜存储器的研究现状,最后提出了铁电薄膜及存储器今后可能的研究方向.
关键词:铁电薄膜; 掺杂改性; 失效机制; 铁电薄膜存储器;
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