简介概要

铁电薄膜应用研究进展

来源期刊：材料导报2004年第10期

论文作者：董树荣王德苗徐文彬

关键词：铁电薄膜; 铁电存储器; MEMS;

摘要：简要综述了铁电薄膜在铁电存储器、MEMS系统、微波器件、光电器件等几个方面的典型应用,并对国内铁电薄膜的研究及发展作了概述.

详情信息展示

董树荣¹，王德苗¹，徐文彬¹

(1.浙江大学信息与电子工程学系,杭州,310027)

摘要:简要综述了铁电薄膜在铁电存储器、MEMS系统、微波器件、光电器件等几个方面的典型应用,并对国内铁电薄膜的研究及发展作了概述.

关键词:铁电薄膜; 铁电存储器; MEMS;

【全文内容正在添加中】