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铅基钙钛矿型结构铁电薄膜的介电及热释电性能研究

来源期刊：功能材料2000年第1期

论文作者：李楚容饶韫华曾亦可陈实邓传益陈磊潘晓光刘梅冬

关键词：铁电薄膜; 溶胶-凝胶技术; 介电性; 热释电性;

摘要：用改进的溶胶-凝胶旋转涂覆技术,在Pt/Ti/SIO/Si基片上研制出1-2μm厚,具有钙钛矿型结构的PbTiO、PLT和PZT铅基铁电薄膜.该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能.

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李楚容¹，饶韫华¹，曾亦可¹，陈实¹，邓传益¹，陈磊¹，潘晓光¹，刘梅冬¹

(1.华中理工大学电子科学与技术系,湖北武汉,430074)

摘要:用改进的溶胶-凝胶旋转涂覆技术,在Pt/Ti/SIO/Si基片上研制出1-2μm厚,具有钙钛矿型结构的PbTiO、PLT和PZT铅基铁电薄膜.该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能.

关键词:铁电薄膜; 溶胶-凝胶技术; 介电性; 热释电性;

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