离子注入对CuxS薄膜的影响
来源期刊：功能材料2000年第5期
论文作者：李德杰 屈晓声
关键词：CuxS薄膜; 离子注入; 相变; 透射率;
摘 要：讨论了CuxS薄膜经氮离子注入后对薄膜的特性影响,铜硫化合物薄膜是经两次蒸发制备在玻璃上.实验发现氮离子束注入引起了CuxS薄膜中的铜与硫成分的改变,明显现察到样品中的铜对硫的比值随注入离子束强度的增加而变大.经过透射光谱的分析对比证实了确有新的CuxS状态出现.
李德杰1，屈晓声1
(1.清华大学电子工程系,北京,100084)
摘要:讨论了CuxS薄膜经氮离子注入后对薄膜的特性影响,铜硫化合物薄膜是经两次蒸发制备在玻璃上.实验发现氮离子束注入引起了CuxS薄膜中的铜与硫成分的改变,明显现察到样品中的铜对硫的比值随注入离子束强度的增加而变大.经过透射光谱的分析对比证实了确有新的CuxS状态出现.
关键词:CuxS薄膜; 离子注入; 相变; 透射率;
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