GCr15钢表面钽沉积及氮离子注入的磨损性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2010年第S1期

论文作者：李忠文 唐光泽 马欣新

文章页码：77 - 80

关键词：磁控溅射沉积;氮离子注入;摩擦系数;

摘    要：利用磁控溅射法在GCr15轴承钢表面沉积厚约100nm的钽膜,然后对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50keV,利用GXRD分析改性层的组成相结构,用Φ6mm的氮化硅球作为对磨件测试处理后试样的磨损性能,并利用SEM结合EDX观测磨痕的形貌及成分,探讨其磨损机制。结果表明,改性层含有钽的氮化物,注入剂量较低时,化合物是TaN0.1,随着注入剂量增加,形成TaN;GCr15钢经过处理后能够提高磨损性能,摩擦系数有所降低:表面经过处理后,摩擦系数由未处理前的0.8～1下降至0.2～0.3,同时磨损量大幅度降低,降低幅度达到88%。注入层的磨损机制主要以磨粒磨损为主,兼有粘着磨损。