CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的影响因素研究

施辉¹，李明华¹，方帅¹，王莎莎¹，王双海¹，张师杰¹，王东伟²，于广华¹

1. 北京科技大学材料科学与工程学院材料物理与化学系2. 国家纳米科学中心纳米检测实验室

摘 要：回顾了近年来国际上关于提高CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的研究,从非磁/CoFeB/MgO多层膜结构(各层膜的厚度、堆积次序、周期数、铁磁/氧化物界面粗糙度和铁磁层,氧化物层及缓冲层的结晶状态)、成分(铁磁层的成分、缓冲层的材料、保护层的材料)及材料工艺(热处理温度、外加电场和外加应力)等方面考察了CoFeB/MgO异质结中界面垂直磁各向异性的影响因素。理解CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的影响因素有助于更好地理解非磁/CoFeB/MgO磁性多层膜中垂直磁各向异性来源的深层物理机制以及通过优化材料结构和工艺进而优化非磁/CoFeB/MgO磁性多层膜的垂直磁各向异性。

关键词：CoFeB/MgO界面;垂直磁各向异性;影响因素;