大直径硅片表面平整度检测中的纳米形貌新概念
来源期刊：世界有色金属2002年第12期
论文作者：卢立延 曹孜 孙燕 张果虎
文章页码：31 - 33
关键词：大直径硅片;平整度检测;纳米形貌;微粗糙度;
摘 要：文章对大直径表面平整度检测中的纳米形貌概念作了说明,对纳米形貌与平整度、微粗糙度及比较作了叙述,指出了纳米形貌的形成原因及影响。
卢立延，曹孜，孙燕，张果虎
摘 要：文章对大直径表面平整度检测中的纳米形貌概念作了说明,对纳米形貌与平整度、微粗糙度及比较作了叙述,指出了纳米形貌的形成原因及影响。
关键词：大直径硅片;平整度检测;纳米形貌;微粗糙度;
