磁控溅射镀Al对NiCrAlY合金层循环氧化性能的影响
来源期刊：功能材料2009年第11期
论文作者：吴原 祝超 丁秉钧 梁工英 张晖
关键词：磁控溅射; NiCrAlY合金; 循环氧化; magnetron sputtering; NiCrAlY alloy; cyclic oxidation;
摘 要：通过磁控溅射手段在NiCrAlY合金表面成功制备了1层Al膜,并比较了镀Al粘结层和不镀Al粘结层在1200℃循环氧化的性能.结果表明,磁控溅射镀Al,制得表面Al膜厚度在2μm左右,NiCrAlY合金层内部的组分并无变化.这层Al膜有助于在表面形成1层分布连续、排列紧密的α-Al_2O_3层,降低了合金层的循环氧化增重速率,延长了涂层开裂脱落时间,使NiCrAlY合金表现出了比较好的抗循环氧化性能.
吴原1，祝超1，丁秉钧1，梁工英1，张晖1
(1.西安交通大学,理学院,陕西,西安,710049)
摘要:通过磁控溅射手段在NiCrAlY合金表面成功制备了1层Al膜,并比较了镀Al粘结层和不镀Al粘结层在1200℃循环氧化的性能.结果表明,磁控溅射镀Al,制得表面Al膜厚度在2μm左右,NiCrAlY合金层内部的组分并无变化.这层Al膜有助于在表面形成1层分布连续、排列紧密的α-Al_2O_3层,降低了合金层的循环氧化增重速率,延长了涂层开裂脱落时间,使NiCrAlY合金表现出了比较好的抗循环氧化性能.
关键词:磁控溅射; NiCrAlY合金; 循环氧化; magnetron sputtering; NiCrAlY alloy; cyclic oxidation;
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