SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：左长明 熊杰 何士明 李言荣 姬洪
关键词：高分辨X射线衍射; 外延生长; 弛豫态的点阵常数;
摘 要：本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO3膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO3系列样品生长工艺有重要的意义.
左长明1，熊杰1，何士明1，李言荣1，姬洪1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO3膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO3系列样品生长工艺有重要的意义.
关键词:高分辨X射线衍射; 外延生长; 弛豫态的点阵常数;
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