SiC颗粒的氧化行为研究

来源期刊：粉末冶金工业2016年第1期

论文作者：李敏 王爱琴 谢敬佩 孙亚丽

文章页码：14 - 19

关键词：SiC颗粒;氧化反应;氧化速度;氧化膜;

摘    要：研究了SiC颗粒氧化前后的微观形貌及元素变化,SiC颗粒氧化增重趋势及其影响因素。结果表明:氧化反应使SiC颗粒形貌发生很大改变,对SiC颗粒有钝化作用,使其失去了很尖锐的边角,更趋于圆滑;氧化后SiC颗粒表面有SiO₂生成;氧化前期SiC氧化增重随氧化时间的延长和氧化温度的升高而呈线性关系增加,氧化速度主要受界面化学反应速率影响,氧化后期氧化增重缓慢,受O₂和CO等在表层氧化膜中的扩散速率控制。并提出了一种简单估算SiC颗粒氧化层厚度的公式。