ITO溅射靶材国内外研究状况
来源期刊：材料开发与应用2010年第1期
论文作者：张智强
关键词：ITO靶材; 研究; 制造;
摘 要：本文综述了ITO靶材的国内外研究、制造技术和国内市场应用状况.详细阐述了ITO溅射靶的物理性能、国外制造ITO溅射靶的主要方法、国内研究状况.系统分析了ITO溅射靶制造技术方面的专利.
张智强1
(1.中国船舶重工集团公司第七二五研究所,河南,洛阳,471039)
摘要:本文综述了ITO靶材的国内外研究、制造技术和国内市场应用状况.详细阐述了ITO溅射靶的物理性能、国外制造ITO溅射靶的主要方法、国内研究状况.系统分析了ITO溅射靶制造技术方面的专利.
关键词:ITO靶材; 研究; 制造;
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