铝合金等离子体基离子注入氮/钛结构及摩擦学特性
来源期刊：材料热处理学报2001年第2期
论文作者：夏立芳 孙跃 廖家轩
关键词：铝合金; 等离子体基离子注入(PBII); 纳米硬度; 摩擦学; 粘着磨损;
摘 要：通过X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GXRD)分析测定了铝合金LY12等离子体基离子注入氮再注入钛的改性层成分分布及相组成.测量了纳米硬度,进行了摩擦磨损试验及磨痕形貌观察.讨论了磁控靶溅射电流40mA、400mA对改性层结构和摩擦学性能的影响.结果表明,氮在注入层呈高斯分布,钛沿注入方向逐渐减少,钛的注入使氮的分布展宽,在400mA下注钛有钛的沉积层出现.和LY12相比,摩擦学性能显著提高,粘着磨损程度显著减轻,400mA下改善幅度更大,形成TiO2、TiN、TiAl3、Al203、AlN或Ti相是主要原因.
夏立芳1，孙跃1，廖家轩1
(1.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,)
摘要:通过X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GXRD)分析测定了铝合金LY12等离子体基离子注入氮再注入钛的改性层成分分布及相组成.测量了纳米硬度,进行了摩擦磨损试验及磨痕形貌观察.讨论了磁控靶溅射电流40mA、400mA对改性层结构和摩擦学性能的影响.结果表明,氮在注入层呈高斯分布,钛沿注入方向逐渐减少,钛的注入使氮的分布展宽,在400mA下注钛有钛的沉积层出现.和LY12相比,摩擦学性能显著提高,粘着磨损程度显著减轻,400mA下改善幅度更大,形成TiO2、TiN、TiAl3、Al203、AlN或Ti相是主要原因.
关键词:铝合金; 等离子体基离子注入(PBII); 纳米硬度; 摩擦学; 粘着磨损;
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