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GaN场发射高分辨电子显微像的图像处理-显示GaN中原子分辨率晶体缺陷的可能性

来源期刊:金属学报2002年第6期

论文作者:王怀斌 李方华

关键词:GaN; 晶体缺陷; 高分辨电子显微学; 场发射电子显微镜; 解卷处理;

摘    要:本文介绍了场发射高分辨电子显微像的图像处理原理,用300 kV场发射电子显微镜的参数模拟了GaN完整晶体和缺陷晶体结构模型的显微像.经过处理的显微像上能够分辨间距为0.112nm的Ga和N原子,并能显示N原子空位.

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GaN场发射高分辨电子显微像的图像处理-显示GaN中原子分辨率晶体缺陷的可能性

王怀斌1,李方华1

(1.中国科学院物理研究所和中国科学院凝聚态物理中心,北京,100080)

摘要:本文介绍了场发射高分辨电子显微像的图像处理原理,用300 kV场发射电子显微镜的参数模拟了GaN完整晶体和缺陷晶体结构模型的显微像.经过处理的显微像上能够分辨间距为0.112nm的Ga和N原子,并能显示N原子空位.

关键词:GaN; 晶体缺陷; 高分辨电子显微学; 场发射电子显微镜; 解卷处理;

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