Sol-gel独立前驱单体制备PZT铁电薄膜技术
来源期刊：功能材料2004年第4期
论文作者：张树人 陈祝 杨成韬 杨邦朝
关键词：PZT; sol-gel法; 前驱单体; 铁电薄膜;
摘 要：采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol-gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜.研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PT Sandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响.
张树人1，陈祝1，杨成韬1，杨邦朝1
(1.电子科技大学,微固学院,四川,成都,610054)
摘要:采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol-gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜.研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PT Sandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响.
关键词:PZT; sol-gel法; 前驱单体; 铁电薄膜;
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